 SEMATECH und centrotherm: Kooperation vereinbart
centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG, eine 100-prozentige Tochter der centrotherm photovoltaics AG (Blaubeuren), ist dem Front End Prozess (FEP) Programm von SEMATECH beigetreten. Ziel ist es, gemeinsam Niedertemperaturprozesse mit Hilfe der von centrotherm neu entwickelten Niedertemperatur-Plasmaoxidationsanlage für zukünftige, leistungsfähigste Logik- und Speicherbauelemente zu entwickeln.
Als Mitglied dieses Programms werde centrotherm sehr eng mit den Experten des SEMATECH FEP-Forschungsteams zusammenarbeiten, um mit Hilfe von SEMATECH Teststrukturen für plasmabasierte Niedertemperaturprozesse zu optimieren, heißt es in einer entsprechenden Unternehmensmitteilung. Das Ziel bestehe darin, die Anwendbarkeit der Niedertemperaturprozesse für Logik- und Speicherbauelemente mit Strukturbreiten kleiner 14 nm (Nanometer) zu demonstrieren.
„SEMATECH stellt centrotherm eine exzellente Testplattform zur Verfügung, um aktuelle Prozesse zu charakterisieren und neue Anwendungen für unsere Anlage zu erschließen“, sagt Peter Augustin, CEO der centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG. „Diese Zusammenarbeit ist eine wichtige Möglichkeit für centrotherm, die technologische Leistungsfähigkeit unserer neuesten Niedertemperatur-Plasmaoxidationsanlage unseren Kunden zu demonstrieren und ist Teil unseres ct focus Programms, den Halbleiter- und Mikroelektronik-Bereich weiter auszubauen.“
„SEMATECH ist erfreut, centrotherm als Partner zu begrüßen“, erklärte Raj Jammy, Vice President Emerging Technologies bei SEMATECH. „centrotherms einzigartiges Know-how in thermischen Lösungen ergänzt unsere Bauelement- und Prozessexpertise. Wir arbeiten zusammen, um anwendbare und vielversprechende neue Fertigungslösungen zu entwickeln, um die Anforderungen des Marktes für zukünftige Transistoren und Speicher zu erfüllen.“
Das Ziel des FEP-Programms von SEMATECH ist es, neuartigste Materialien, Prozesstechnologien, Bauelementmodule sowie elektrische und physikalische Charakterisierungsmethoden zur Verfügung zu stellen, um die kontinuierliche Miniaturisierung von Logik- und Speicheranwendungen zu ermöglichen.
Quelle: centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG
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